全自動ITO檢測機,備主要用于檢測TFT-CELL及Module裸露電極區(qū)域線路異常(因制程和操作不當(dāng)導(dǎo)致的劃傷,從而引起的線路open或short等缺陷)和線路微劃傷(ITO未劃透,暫時可以通電),檢測系統(tǒng)需采用微分干涉成像技術(shù)或其它可以識別線路微劃傷(ITO未劃透,暫時可以通電)的成像技術(shù),并采用先進算法判定出缺陷,主要包括自動上料,產(chǎn)品搬送單元、AOI檢測單元,自動下料單元等。
產(chǎn)品尺寸范圍
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3-17寸
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最小缺陷尺寸
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0.002mm
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搬送精度
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X±0.02mm Y±0.02mm
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適用產(chǎn)品
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TFT-CELL及Module裸露電極
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節(jié)拍
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6-12S
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電壓/功率
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AC220V / 50HZ /10KVA
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漏檢率
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≤1%
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過檢率
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≤5%
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空氣源壓力
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0.5-0.7kgf/cm
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潔凈度
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0.5um
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