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上海伯東磁懸浮渦輪分子泵 ATH 500 M

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界{yl}的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念，已累計(jì)為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為國際知名真空品牌指定授權(quán)代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，100% 使用原廠進(jìn)口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師；擁有wq的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務(wù)。

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ATH 500 M 多種配置可選滿足不同需要：
1.兩種接口：DN 100/160
2.三種密封方式：ISO-F、ISO-K、CF-F
3.兩種冷卻方式：風(fēng)冷、水冷
4.另有可遠(yuǎn)程控制和可加熱款（抗腐蝕MT）供客戶選擇

ATH 500 M 技術(shù)參數(shù)：

軸承	五軸控制全磁浮軸承
轉(zhuǎn)速	50000 min-1
對氮?dú)獾膲嚎s比	> 2 · 107
最大進(jìn)氣壓力N2	2.6 hPa
對氮?dú)獾某樗?	350 l/s--550 l/s
啟動時間	< 2 min
極限真空度	< 1 · 10-8 hPa
重量	17 kg-18kg

ATH 500 M 對不同氣體的抽速：
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ATH 500 M 尺寸圖：
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