技術(shù)規(guī)格：

- 基底旋轉(zhuǎn)：8轉(zhuǎn)/分鐘；
- 熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存；
- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM)，光學(xué)監(jiān)測，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；

-        襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；

-        保護樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關(guān)擋板，達到及時遮擋樣品效果；

技術(shù)支持&服務(wù)：

1. 技術(shù)支持：在合同簽訂之前，我們的專業(yè)工程師會在充分了解客戶需求的前提下，為客戶做出**的選型和方案設(shè)計，使客戶充分了解并理解產(chǎn)品技術(shù)指標、性能用途、使用場合、注意事項等，以幫助客戶做出正確的選擇。

2. 安裝與培訓(xùn)：在產(chǎn)品使用前，我們會派專業(yè)工程師為您提供技術(shù)支持、培訓(xùn)及演示服務(wù)。

3. 產(chǎn)品質(zhì)保：我們對產(chǎn)品提供12個月的質(zhì)保期，在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生設(shè)備或配件損壞由公司負責(zé)賠償或免費維修。（耗材和易損件除外）

4. 終身維護：我們對提供的產(chǎn)品提供終身服務(wù)，對于超過質(zhì)保期限的維修、維護僅收取材料費。